고강도 고온 저항성 화학적 부패 저항성 반도체 장비용 세라믹 팔
Jan 09, 2026
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세라믹 팔
지르코니아 세라믹1그것은 뛰어난 마모 저항, 화학적 부식 저항, 높은 온도 저항, 그리고 자기 저항을 가지고 있습니다.물질이나 환경을 오염시키지 않고 극도로 혹독한 환경에서 사용할 수 있도록.2그것은 높은 견고성, 높은 굴곡 강도, 높은 마모 저항, 그리고 우수한 열 단열 특성, 철강에 가까운 열 팽창 계수와 함께 특징입니다.나노 알루미나미세한 입자 크기 때문에 나노 알루미나는 합성 보석, 분석 반응 물질, 나노 촉매 및 운반자를 만드는 데 사용할 수 있습니다.그것은 그들의 광화력 강도를 크게 향상시킬 수 있습니다세라믹 및 고무 경화에 있어서, 그것은 특히 세라믹의 밀도, 표면 매끄러움 및 열 피로 저항을 향상시키는 데 일반 알루미나보다 몇 배 더 효과적입니다.나노 알루미나는 주로 YGA 레이저 결정 및 통합 회로 기판의 주요 구성 요소에 사용됩니다., 또한 마모 저항성을 향상시키기 위해 코팅에 추가됩니다.
고성능의 세라믹 팔은 예외적인 정확성과 내구성을 요구하는 반도체 제조 애플리케이션을 위해 설계되었습니다.
제품 특성
재료 특성:고강도, 고온 저항성, 화학성 경식 저항성
고정밀 가공:노즐 위치의 평면은 0.02mm 내에서 제어 할 수 있습니다
사용자 정의 디자인:커스터마이징 가능한 크기 (약 400mm까지) 및 구멍 위치, 주류 반도체 장비와 호환
기계적 특성
재산
단위
실리콘 카비드
밀도
g/cm3
3.15
비커스 강도
H.V.5
2650
굽기 힘
MPa
450
압축력
MPa
2650
탄력 모듈
GPa
430
골절 강도
MPa*m1/2
4
포이슨 비율
0.14
영의 모듈
GPa
430
실리콘 탄화물 원자재 순도
%
99
열 특성
재산
단위
실리콘 카비드
열전도 25°C
W/mK
110
녹는점
°C
2800
특정 열
J/g*K
0.8
선형 팽창 계수
10−6/K
4
전기 특성
재산
단위
실리콘 카비드
다이 일렉트릭 상수
1MHz
10
분사 전압
V/cm
1×106
다이 일렉트릭 손실
1MHz
0.001
저항성
Ω*cm
102-106
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