층류
클린
룸
GCC는
클린
부스의
전통적인
디자인
개념을
변경했으며,
미니
클린
유닛은
모듈식
통합
디자인의
개념을
채택했습니다.
이
아키텍처는
SMIF
형태와
유사하며,
다양한
독립적인
클린
구역을
가지고
있습니다.
유일한
차이점은
연결
암으로
전송이
수행되지
않고
밀폐된
클린
룸에서
작동한다는
것입니다.
독립적인
에어컨
및
공기
반환
시스템을
갖추고
있습니다.
이
형태의
장점은
탄력적인
간격,
낮은
건설
비용이며,
기존의
토목
건설
정화실에
비해
비용이
크게
절감됩니다.
조립식
클린룸의
공기
중
입자
청결도
|
FED
STD
209E
|
|
레벨
|
>=0.1um
|
>=0.2um
|
>=0.3um
|
>=0.5um
|
>=5um
|
해당
|
|
1
|
35
|
7
|
3
|
1
|
|
ISO3
|
|
10
|
350
|
75
|
30
|
10
|
|
ISO4
|
|
100
|
|
|
|
100
|
|
ISO5
|
|
1000
|
|
|
|
1000
|
7
|
ISO6
|
|
10000
|
|
|
|
10000
|
70
|
ISO7
|
|
100000
|
|
|
|
100000
|
700
|
ISO8
|
|
ISO
14644-1
클린룸
표준
|
|
레벨
|
>=0.1um
|
>=0.2um
|
>=0.3um
|
>=0.5um
|
>=1um
|
>=5um
|
해당
|
|
ISO1
|
10
|
2
|
|
|
|
|
|
|
ISO2
|
100
|
24
|
10
|
4
|
|
|
|
|
ISO3
|
1000
|
237
|
102
|
35
|
8
|
|
1
|
|
ISO4
|
10000
|
2370
|
1020
|
352
|
83
|
|
10
|
|
ISO5
|
100000
|
23700
|
10200
|
3520
|
832
|
29
|
100
|
|
ISO6
|
1000000
|
237000
|
102000
|
35200
|
8320
|
293
|
1000
|
|
ISO7
|
|
|
|
352000
|
83200
|
2930
|
10000
|
|
ISO8
|
|
|
|
3520000
|
832000
|
29300
|
100000
|
|
ISO9
|
|
|
|
35200000
|
8320000
|
293000
|
실내
공기
|
매개변수
|
클린
클래스
레벨
|
층류
클린
룸
|
|
GCC-LFCS1500mm
|
GCC-LFCS2000mm
|
GCC-LFCS3000mm
|
GCC-LFCS5000mm
|
|
크기
|
1500*2000*2400mm
|
2000*3000*2400mm
|
3000*4000*2400mm
|
5000*5000*2400mm
|
|
재료
|
프레임워크
|
냉간
압연
강철,
알루미늄,
스테인리스
스틸
|
|
주변
|
플렉시
유리,
소프트
커튼,
정전기
방지
스트립
커튼
|
|
클린
클래스
레벨
|
100
|
1000
|
10000
|
100000
|
|
HEPA
필터
|
크기
|
610*610*69mm
|
1220*610*69mm
|
1220*610*69mm
|
1220*610*69mm
|
|
효율
|
99.99%
|
99.99%
|
99.99%
|
99.99%
|
|
공기
흐름
|
4000m³/h
|
5040m³/h
|
7560m³/h
|
12000m³/h
|
|
프리
필터
|
크기
|
선택
사항
|
|
모터
|
전원
공급
장치
|
220V/50Hz
|
220V/50Hz
|
220V/50Hz
|
220V/50Hz
|
|
소음
|
62dB
|
62dB
|
62dB
|
62d
|
응용
분야
GCC
층류
클린
룸은
조립
라인
작업
구역
및
고정밀
제품
조립
구역과
같이
더
높은
수준의
정화
수준이
필요한
작업장에
사용됩니다.